SEMI C10 - 분석법 검출 한계 결정 가이드 -

Name: C01000 - SEMI C10 - 분석법 검출 한계 결정 가이드
Brand: semi.org
SKU: 2107
Price: 487000.0 KRW
Availability: InStock

Member Price: ₩225

Non-Member Price: ₩487,000

Volume(s): Gases / Process Chemicals
Language: English
Type: Single Standards Download (.pdf)
SEMI Standards Copyright Policy/License Agreements

개정:

SEMI C10-1109(재승인 1114) - 현행

품목 옵션

Abstract

이 표준은 Liquid Chemicals Global Technical Committee에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 판은 2014년 8월 25일에 글로벌 감사 및 검토 소위원회의 출판 승인을 받았습니다. 2014년 11월 www.semiviews.org 및 www.semi.org에서 볼 수 있습니다. 원래 1998년에 출판되었습니다. 이전에 게시된 2009년 11월.

알림: 이 문서는 약간의 편집 변경을 거쳐 재승인되었습니다.

SEMI 공정 화학물질 또는 가스 사양을 지원하는 데이터에서 방법 검출 한계(MDL)의 정량적 결정을 위한 최소한의 지침을 제공합니다.

이 가이드는 SEMI Process Chemicals 또는 Gases Standards and Guides에 명시된 미량 오염 물질에 적용됩니다. 모든 관련 미량 오염 물질은 해당 사양과 같거나 그 이하인 교정 곡선의 회귀 분석에서 결정된 MDL을 가져야 합니다. 이 가이드는 SEMI 내에서 새로운 사양을 설정하고 SEMI 사양에 대한 성능을 검증하는 데 사용하기 위한 것입니다.

참조된 SEMI 표준

SEMI C16 — 정밀 보고/데이터 추적을 위한 가이드

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