SEMI C9.1 - 중량 측정으로 준비된 가스 혼합물의 불확실성 분석 가이드 -

Abstract

이 표준은 Gases Global Technical Committee에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 에디션은 2017년 8월 18일 글로벌 감사 및 검토 소위원회의 출판 승인을 받았습니다. 2018년 3월 www.semiviews.org 및 www.semi.org에서 볼 수 있습니다. 원래 1993년에 출판되었습니다. 이전에 2012년 2월에 게시되었습니다.

이 문서는 다양한 SEMI 불순물 사양이 충족되는지 여부를 결정하기 위해 분석 장비를 교정하는 데 사용되는 중량 측정 가스 혼합물의 준비 및 사용과 관련된 불확실성 분석을 위한 최소 기준을 제공하기 위한 것입니다.

이 가이드는 개별 실린더를 사용하여 2성분 가스 혼합물을 준비하기 위한 것입니다.

이 문서의 의도는 반도체 산업의 요구 사항을 충족하기 위한 추가 요구 사항과 함께 ISO 6142에 따라 보정 가스 혼합물을 준비하기 위한 일반 지침을 제공하는 것입니다.

이 지침은 자체 또는 실린더 벽과 반응하지 않는 가스 구성 요소와 테스트 조건에서 완전히 기화되는 응축성 구성 요소에만 적용됩니다. 수분 교정 혼합물용이 아닙니다.

참조된 SEMI 표준

없음.

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