SEMI C6.7 - 고압 가스 실린더의 10/0.2 등급 질소에 대한 입자 사양 -

Abstract

이 표준은 Gases Global Technical Committee에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 판은 2011년 9월 12일에 글로벌 감사 및 검토 소위원회의 출판 승인을 받았습니다. 원래 1993년에 출판되었습니다. 이전에 출판된 2002년 11월.

알림: 이 문서는 더 이상 글로벌 기술 위원회에서 지원하지 않습니다. SEMI C97로 대체되었습니다.

이 문서의 목적은 (1) 10/0.2 등급 실린더 질소에 대한 최대 허용 입자 농도를 설정하고 (2) 검증을 위한 참조 방법을 설명하는 것입니다.

이 사양은 고압 가스 실린더에 포함된 질소에 적용됩니다. 파이프라인 가스에는 적용되지 않습니다.

참조된 SEMI 표준

없음.

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