SEMI C6.7 - 고급 가스실린더중간 그레이드10/0. -

Abstract

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免責事項：このSEMIスタンダードは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます｡

반 スタンダード スタンダード 日本語 スタンダード 版 を ご ご 利用 にあたって にあたって の の 注釈 を 本文 本文 の 末尾 に 記載 記載 し て おり ます ます ます ます 「す べき べき である である」 「し なければなら ない」について 等。。。。。

 

本standared는 Gases Global Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2011年9月12日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。 2011年11月にwww.semiviews.orgおよび www.semi.orgで入手可能となる.初版は1993年発行.前版は2002年11月発行。

　

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この この この の 文書 は, (1) 10/0.2 グレード グレード, シリンダ 充填 充填 窒素 に対する 最大 許容 許容 パーティクル 濃度 の 設定 設定 設定 および (2)その 確認 の の の 基準 方法 の 記述 記述。。。。。。

　

この仕様は，高圧가스시린다に充填された窒素に適用される。파이프라인・가스には適用されない。

　

窒素シリンダは， 3つの部品から構成される：(1)シリンダ・ボトル，(2)充填された圧縮窒素，および(3)シリンダ・바르브それぞれの部品がparticrunosoースとなり得る。この仕様は,規定条件下でシリンダから得られるgas中に検出されるparticruno의 総数に適用される。particru源は考慮されない。

　

減圧器は，制御されない場合，多数の人工的partiqueruを疑集，疑縮を通して生じ得る ことが知られている.は200 bar (3000 psi)までの圧力において稼働する파티크루카운타を採用し，圧力逓減とそれに関連する問題に対する必要を無くしている.

　

シリンダ・gas中のパーティクル含有量は，時間と共に変化する ことが知られ ている。なぜなら，partycruuは拡散mataは沈降によりシリンダ壁ダ壁に失われ，またフロー・パルスまたは機械的衝撃によりシリンダ壁面から分離するからである.典型的なgasシリンダの取り扱いを表わす最悪の条件下で，파티크루濃度を測定する ことが重要である。この仕様は，上述の要求条件を満たす標準衝撃を記述し，mata衝撃直後にPARTICULUをカウントする手順を提供する.

　

このtest方法を複数のシリンダに対して使用する場合は，各シリンダをtestしなければならない。シリンダ・gas中のpartycru汚染は個別のシリンダの取り扱い履歴と強い関係があることが知られている.同時に充填した複数のシリンダは，それぞれ異なるユーザから異なる期間の使用の後に返却されるのが通常である同時に充填したシリンダ。に対する品質の統一には，各シリンダについて充填以前の履歴の跡を消し去る専用の処理 が必要である.従って, 10%または20%のbatchi・sanpringでは，シリンダごとの重大な差異があるため受け入れられない.

　

100%sanpringの要求条件は，sanpring目的で用用される各シリンダ中のgasの総量を制限する.に対する統計的要求を緩和する.

　

참조된 SEMI 표준

없음.

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