SEMI C6.4 - 파이프라인 가스로 전달되는 등급 20/0.02 질소(N2) 및 아르곤(Ar)에 대한 입자 사양 -

Abstract

이 표준은 Gases Global Technical Committee에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 판은 2011년 9월 12일에 글로벌 감사 및 검토 소위원회의 출판 승인을 받았습니다. 원래 1990년에 출판되었습니다. 이전에 출판된 2002년 11월.

알림: 이 문서는 더 이상 글로벌 기술 위원회에서 지원하지 않습니다. SEMI C97로 대체되었습니다.

이 문서의 목적은 (1) 20/0.02 등급 질소 및 아르곤 벌크 공급 가스에 대한 최대 허용 입자 농도를 설정하고 (2) 검증을 위한 참조 방법을 설명하는 것입니다.

이 문서는 파이프라인을 통해 전달되는 질소 가스 및 아르곤 가스에만 적용됩니다. 실린더 가스 또는 액체 상태의 가스에는 적용되지 않습니다.

참조된 SEMI 표준

없음.

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