C00358 - SEMI C3.58 - 옥타플루오로사이클로부탄 사양, C4F8, 실린더의 전자 등급, 99.999% 품질

SEMI C3.58 - 옥타플루오로사이클로부탄 사양, C4F8, 실린더의 전자 등급, 99.999% 품질 -

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Volume(s): Gases
Language: English

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개정: SEMI C3.58-1011(0418 재승인) - 현재

개정

Abstract

이 표준은 Gases Global Technical Committee에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 에디션은 2017년 8월 18일 글로벌 감사 및 검토 소위원회의 출판 승인을 받았습니다. 2018년 4월 www.semiviews.org 및 www.semi.org에서 볼 수 있습니다. 2000년 6월에 처음 출판되었습니다. 이전에 2011년 10월에 게시되었습니다.

이 문서의 목적은 반도체 산업에서 사용되는 옥타플루오로사이클로부탄(C 4 F 8 )에 대한 사양을 제공하는 것입니다.

이 문서는 반도체 산업에서 사용되는 옥타플루오로사이클로부탄(C 4 F 8 )에 대한 요구 사항을 다룹니다.

참조된 SEMI 표준

없음.

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