SEMI C3.58 - 충전화시크로브탄(C4F8)，전자글레이드，실린다입，제품質99.999%의 仕様 -

Member Price: ₩135
Non-Member Price: ₩282,000

Volume(s): Gases
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
SEMI Standards Copyright Policy/License Agreements

개정: SEMI C3.58-1011 - 대체됨

개정

Abstract

알림: 이 번역본은 참조용 사본입니다. 영어 버전과 다른 언어로 된 번역본 사이에 차이가 있는 경우 영어 버전이 공식적이고 권위 있는 버전입니다.

免責事項：このSEMIスタンダードは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます｡

반 スタンダード スタンダード 日本語 スタンダード 版 を ご ご 利用 にあたって にあたって の の 注釈 を 本文 本文 の 末尾 に 記載 記載 し て おり ます ます ます ます 「す べき べき である である」 「し なければなら ない」について 等。。。。。

 

本standared는 Gases Global Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2011年9月12日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。 2011年10月にwww.semiviews.orgおよび www.semi.orgで入手可能となる。初版は2003年3月発行。

　

本文書の目的は，半導体産業で使用される八훗화시크로브탄 (C 4 F 8 )の仕様を提供するものである.

 

本文書は，半導体産業で使用される八훗화시크로브탄 (C 4 F 8 )の要求事項を含む。

　

참조된 SEMI 표준

없음.

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