C00357 - SEMI C3.57 - 실린더의 이산화탄소, CO2, 전자 등급 사양

SEMI C3.57 - 실린더의 이산화탄소, CO2, 전자 등급 사양 -

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Volume(s): Gases
Language: English

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Type: Single Standards Download (.pdf)

개정: SEMI C3.57-0312 (Reapproved 0618) - Inactive

개정

Abstract

이 표준은 Gases Global Technical Committee에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 에디션은 2017년 12월 13일 글로벌 감사 및 검토 소위원회의 출판 승인을 받았습니다. 2018년 6월 www.semiviews.org 및 www.semi.org에서 볼 수 있습니다. 2000년 6월에 처음 출판되었습니다. 이전에 2012년 3월에 게시되었습니다.

이 문서의 목적은 반도체 산업에서 사용되는 이산화탄소(CO 2 )에 대한 사양을 제공하는 것입니다.

이 문서는 반도체 산업에서 사용되는 이산화탄소(CO 2 )에 대한 요구 사항을 다룹니다.

　

참조된 SEMI 표준

없음.

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