C00357 - SEMI C3.57 - 실린다중전전자의 그레이드二酸化炭素,CO2の仕様

SEMI C3.57 - 실린다중전전자의 그레이드二酸化炭素,CO2の仕様 -

Member Price: ₩135
Non-Member Price: ₩347,000

Volume(s): Gases
Language: Japanese

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Type: Single Standards Download (.pdf)

개정: SEMI C3.57-0312 - 대체됨

개정

Abstract

本standared는, global Gases Technical Committee で技術的に承認されている。現版は2011年12 月24日， global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。 2012年3月にwww.semiviews.orgおよびwww.semi.org 에서 入手可能となる.初版は2000 년 6 월 행사.

　

本文書の目的は，半導体製造産業にて使用される，二酸化炭素(CO 2 )の仕様を提供する ことである。

　

本文書は，半導体製造産業にて使用される，二酸化炭素(CO 2 ) の要件をカバーするものである。

　

참조된 SEMI 표준

없음.

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