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SEMI C3.56 - 디보란 혼합물 사양 -
Abstract
이 표준은 Gases Global Technical Committee에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 에디션은 2017년 12월 13일 글로벌 감사 및 검토 소위원회의 출판 승인을 받았습니다. 2018년 6월 www.semiviews.org 및 www.semi.org에서 볼 수 있습니다. 2000년 6월에 처음 출판되었습니다. 이전에 2012년 3월에 게시되었습니다.
사양 및 분석 방법을 정의하고 디보란 혼합물에 대한 사양을 검증합니다.
Diborane은 순수한 가스로 사용되지 않고 N 2 , H 2 , Ar, He 또는 SiH 4 의 균형 가스와 혼합되어 사용됩니다.
혼합물의 품질은 다음과 같은 여러 요인의 영향을 받습니다.
• 혼합물 준비에 사용되는 가스의 순도;
• 부품 충진 정밀도;
• 실린더 준비 공정 및 실린더 내부 표면과 디보란의 현장 반응.
또한 충전 후 경과 시간은 디보란의 화학적 불안정성 및 분해로 인해 중요합니다(부록 1 참조).
모든 구성 가스는 가능한 경우 해당 SEMI 사양을 준수해야 합니다.
최종 혼합물의 품질은 디보란의 농도와 주요 불순물(추적자), 즉 H 2 , N 2 , O 2 에 대해 각 실린더를 분석하여 제조 후 확인할 수 있습니다.
참조된 SEMI 표준 없음.
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