SEMI C3.55 - 실란(SiH4) 사양, 벌크, 99.994% 품질 -

개정: SEMI C3.55-1011(0218 재승인) - 현재

개정

Abstract

이 표준은 Gases Global Technical Committee에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 에디션은 2017년 5월 16일 글로벌 감사 및 검토 소위원회에서 출판 승인을 받았습니다. 2018년 2월 www.semiviews.org 및 www.semi.org에서 제공됩니다. 2000년 2월에 처음 출판되었습니다. 이전에 2011년 10월에 게시되었습니다.

이 문서의 목적은 반도체 산업에서 사용되는 실란(SiH 4 )에 대한 사양을 제공하는 것입니다.

이 문서는 반도체 산업에서 사용되는 벌크 실란(SiH 4 )에 대한 요구 사항을 다룹니다.

참조된 SEMI 표준

SEMI C3 — 가스 사양

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