SEMI C3.54 - 실란(SiH4)에 대한 가스 순도 지침 -

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Volume(s): Gases
Language: English
Type: Single Standards Download (.pdf)
SEMI Standards Copyright Policy/License Agreements

개정: SEMI C3.54-0200E (철회 1011) - 철회

개정

Abstract

이 표준은 글로벌 가스 기술 위원회에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 판은 2011년 9월 12일에 글로벌 감사 및 검토 소위원회의 출판 승인을 받았습니다. 2011년 10월 www.semiviews.org 및 www.semi.org에서 볼 수 있습니다. 원래 1997년에 출판되었습니다. 이전에 출판된 2006년 9월.

 

알림: 이 문서는 2011년에 투표를 거쳐 철회 승인을 받았습니다.

 

실란은 발화성, 인화성 무색 가스입니다.

참조된 SEMI 표준

없음.

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