SEMI C3.53 - 삼불화메탄(Chf3) 표준, 99.95% 품질 -

개정: SEMI C3.53-95(철회 0701) - 철회

개정

Abstract

이 표준은 Gases Global Technical Committee에서 기술적으로 승인되었습니다. 2001년 7월 www.semi.org에서 이용 가능; 원래 1995년에 출판되었습니다.

알림: 이 문서는 2001년에 투표를 거쳐 철회 승인을 받았습니다.

트리플루오로메탄(CHF 3 )은 무색, 불연성, 비부식성 가스로 약간의 미묘한 냄새가 납니다. 자체 증기압 하에서 액화 가스로 실린더에 운송됩니다.

참조된 SEMI 표준

없음.

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