C00352 - SEMI C3.52 - 육불화텅스텐 표준, 99.996% 품질

SEMI C3.52 - 육불화텅스텐 표준, 99.996% 품질 -

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Non-Member Price: ₩290,000

Volume(s): Gases
Language: English

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Type: Single Standards Download (.pdf)

개정: SEMI C3.52-0200(철회 0312) - 교체됨

개정

Abstract

이 표준은 글로벌 가스 기술 위원회에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 판은 2011년 12월 24일에 글로벌 감사 및 검토 소위원회의 출판 승인을 받았습니다. 2012년 3월 www.semiviews.org 및 www.semi.org에서 볼 수 있습니다. 원래 1995년에 출판되었습니다. 이전에 출판된 2000년 6월.

알림: 이 문서는 2011년 투표를 통해 철회 승인을 받았습니다. SEMI C70으로 교체.

사양 및 분석 방법을 정의하고 WF 6 에 대한 사양을 검증합니다.

참조된 SEMI 표준

없음.

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