SEMI C3.51 - 삼염화붕소(BCl3) 사양, 99.98% 품질 -

Abstract

이 표준은 Gases Global Technical Committee에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 판은 2011년 12월 24일에 글로벌 감사 및 검토 소위원회의 출판 승인을 받았습니다. 2012년 3월 www.semiviews.org 및 www.semi.org에서 볼 수 있습니다. 원래 1995년에 출판되었습니다. 이전에 2011년 11월에 게시되었습니다.

알림: 이 문서는 2012년에 투표를 거쳐 철회 승인을 받았습니다. SEMI C71로 대체되었습니다.

사양 및 분석 방법을 정의하고 BCl ₃ 에 대한 사양을 검증합니다.

이 사양은 0.5µ 이하(0.35 ~ 0.5 범위)의 기하학과 관련이 있으며 기상 분석을 사용하는 분석 기술을 설명합니다.

참조된 SEMI 표준

없음.

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