SEMI C3.51 - 三塩化ホウ素(BCl3)，品質99.98%의 仕様 -

Abstract

알림: 이 번역본은 참조용 사본입니다. 영어 버전과 다른 언어로 된 번역본 사이에 차이가 있는 경우 영어 버전이 공식적이고 권위 있는 버전입니다.

免責事項：このSEMIスタンダードは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます｡

반 スタンダード スタンダード 日本語 スタンダード 版 を ご ご 利用 にあたって にあたって の の 注釈 を 本文 本文 の 末尾 に 記載 記載 し て おり ます ます ます ます 「す べき べき である である」 「し なければなら ない」について 等。。。。。

 

本standared는 Gases Chemicals Global Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2011年12月34日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された2012年3月にwww.semiviews. orgおよび www.semi.org 에서 入手可能となる。 2011年11月発行に至る。初版は1995年発行。

　

알림: 이 문서는 2012년에 투표를 거쳐 철회 승인을 받았습니다. SEMI C71로 대체되었습니다.

　

BCl ₃ 의 타당한 논의를 나누는 것과 법을 발전시키는 것

　

本仕様は, 0.5 µmまたはそれ以下（0.35 ～0.5 µm範囲）に関係し, 気相分析を用いた分析technickを述べる。

　

참조된 SEMI 표준

없음.

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