SEMI C3.48 - 질소(N2) 표준, 벌크 액체, 99.9994% 품질 -

개정: SEMI C3.48-0200(철회 0303) - 교체됨

개정

Abstract

이 표준은 Gases Global Technical Committee에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 에디션은 1999년 10월 19일 글로벌 감사 및 검토 소위원회에서 출판 승인을 받았습니다. 2000년 2월 www.semi.org에서 구할 수 있습니다. 원래 1993년에 출판되었습니다. 이전에 1996년에 출판되었습니다.

알림: 이 문서는 2003년에 투표를 거쳐 철회 승인을 받았습니다. SEMI C59로 대체되었습니다.

질소는 지구 대기의 약 78%를 차지하는 무취, 무미의 이원자 기체입니다. 무색 액체. 불연성; 분별 증류에 의해 액체 공기에서 추출한 극저온 가스.

참조된 SEMI 표준

없음.

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