C00345 - SEMI C3.45 - 헥사플루오로에탄(C2F6) 표준, 99.996% 품질(임시)

SEMI C3.45 - 헥사플루오로에탄(C2F6) 표준, 99.996% 품질(임시) -

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Volume(s): Gases
Language: English

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Type: Single Standards Download (.pdf)

개정: SEMI C3.45-92(철회 0701) - 철회

개정

Abstract

이 표준은 Gases Global Technical Committee에서 기술적으로 승인되었습니다. 2001년 7월 www.semi.org에서 이용 가능; 원래 1992년에 출판되었습니다.

알림: 이 문서는 2001년에 투표를 거쳐 철회 승인을 받았습니다.

헥사플루오로에탄은 모든 유기 화합물 중에서 가장 안정적인 것 중 하나입니다. 불활성, 무색, 불연성, 무취 및 무미입니다.

참조된 SEMI 표준

없음.

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