SEMI C3.41 - 산소(O2)용 표준, 벌크, 99.9998% 품질 -

Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩236,000

Volume(s): Gases
Language: English
Type: Single Standards Download (.pdf)
SEMI Standards Copyright Policy/License Agreements

개정: SEMI C3.41-0703(철회 1104) - 철회

개정

Abstract

이 표준은 Gases Global Technical Committee에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 에디션은 2004년 7월 11일 글로벌 감사 및 검토 소위원회에서 출판 승인을 받았습니다. 2004년 11월 www.semi.org에서 볼 수 있습니다. 원래 1990년에 출판되었습니다. 이전에 출판된 2003년 7월.

알림: 이 문서는 2004년에 투표를 거쳐 철회 승인을 받았습니다.

산소는 무색, 무취의 산화성 기체입니다. 연소를 지원합니다.

참조된 SEMI 표준

없음.

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