SEMI C3.40 - 사불화탄소(CF4) 사양, 99.997% 품질 -

Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩236,000

Volume(s): Gases
Language: English
Type: Single Standards Download (.pdf)
SEMI Standards Copyright Policy/License Agreements

개정: SEMI C3.40-1011(0218 재승인) - 현재

개정

Abstract

이 표준은 Gases Global Technical Committee에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 에디션은 2017년 5월 16일 글로벌 감사 및 검토 소위원회에서 출판 승인을 받았습니다. 2018년 2월 www.semiviews.org 및 www.semi.org에서 제공됩니다. 원래 1989년에 출판되었습니다. 이전에 2011년 10월에 게시되었습니다.

이 문서의 목적은 반도체 산업에서 사용되는 사불화탄소(CF 4 )에 대한 사양을 제공하는 것입니다.

이 문서는 반도체 산업에서 사용되는 사불화탄소(CF 4 )에 대한 요구 사항을 다룹니다.

참조된 SEMI 표준

없음.

Interested in purchasing additional SEMI Standards?

Consider SEMIViews, an online portal with access to over 1000 Standards.

Refund Policy: Due to the nature of our products, SEMI has a no refund/no exchange policy. Please make sure that you have reviewed your order prior to finalizing your purchase. All sales are final.

Customer Reviews

Be the first to write a review
0%
(0)
0%
(0)
0%
(0)
0%
(0)
0%
(0)

You May also Like