SEMI C3.37 - 헥사플루오로에탄(C2F6) 사양, 99.97% 품질 -

개정: SEMI C3.37-0920 - 현재

개정

Abstract

이 문서의 목적은 반도체 산업에서 사용되는 헥사플루오로에탄(C 2 F 6 )에 대한 사양을 제공하는 것입니다.

　

이 문서는 반도체 산업에서 사용되는 헥사플루오로에탄에 대한 요구 사항을 다룹니다.

　

참조된 SEMI 표준

없음.

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