SEMI C3.35 - 염화수소(HCI) 사양, 99.997% 품질 -

Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩236,000

Volume(s): Gases
Language: English
Type: Single Standards Download (.pdf)
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개정: SEMI C3.35-0421 - 현재

개정

Abstract

이 문서의 목적은 반도체 산업에서 사용되는 염화수소(HCl)에 대한 사양을 제공하는 것입니다.


이 문서는 반도체 산업에서 사용되는 염화수소에 대한 요구 사항을 다룹니다.

참조 SEMI 표준 (별도 구매)

없음.

개정 내역

SEMI C3.35-0421(기술 개정)

SEMI C3.35-1109E(0815 재승인)

SEMI C3.35-1109E(편집 개정판)

SEMI C3.35-1109(기술 개정)

SEMI C3.35-1101(기술 개정)

SEMI C3.35-95(기술 개정판)

SEMI C3.35-94(기술 개정판)

SEMI C3.35-92(기술 개정)

SEMI C3.35-89(기술 개정판)

SEMI C3.35-88(최초 발행)

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