SEMI C3.34 - 실린더의 디실란(Si2H6) 사양, 97% 품질 -

Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩246,000

Volume(s): Gases
Language: English
Type: Single Standards Download (.pdf)
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개정: SEMI C3.34-0116(0922 재승인) - 현재

개정

Abstract


이 표준의 목적은 반도체 산업에서 사용되는 디실란(Si2H6)에 대한 사양을 제공하는 것입니다.

이 표준은 반도체 산업에서 사용되는 디실란(Si2H6)에 대한 요구 사항을 다룹니다.

분석 방법이 완전하지 않은 경우 요구 사항을 지침으로 제시합니다.

참조 SEMI 표준 (별도 구매)
SEMI C3 — 가스 사양

개정 내역
SEMI C3.34-0116(재승인 0922)
SEMI C3.34-0116(기술 개정)
SEMI C3.34-1109(기술 개정)
SEMI C3.34-1102(기술 개정)
SEMI C3.34-92(기술 개정)
SEMI C3.34-90(기술 개정판)
SEMI C3.34-89(최초 발행)

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