SEMI C3.33 - 삼염화붕소(BCl3) 표준(임시) -

Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩236,000

Volume(s): Gases
Language: English
Type: Single Standards Download (.pdf)
SEMI Standards Copyright Policy/License Agreements

개정: SEMI C3.33-92(철회 0312) - 철회

개정

Abstract

이 표준은 글로벌 가스 기술 위원회에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 판은 2011년 12월 24일에 글로벌 감사 및 검토 소위원회의 출판 승인을 받았습니다. 2012년 3월 www.semiviews.org 및 www.semi.org에서 볼 수 있습니다. 원래 1987년에 출판되었습니다. 이전에 출판된 2003년 3월.

알림: 이 문서는 2011년 투표를 통해 철회 승인을 받았습니다. SEMI C71, 삼염화붕소 사양 및 가이드(BCI 3 )로 대체되었습니다.

삼염화붕소는 상온 및 대기압에서 무색의 기체로 습한 공기가 있으면 발연합니다. 질식하는 냄새가 난다.

참조된 SEMI 표준

없음.

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