SEMI C3.31 - 실린더의 디클로로실란(SiH2Cl2) 사양, 99% 품질(임시) -

Abstract

알림: 이 문서는 2005년에 SEMI C56으로 대체되었습니다.

이 사양은 Global Gases Committee의 기술 승인을 받았으며 North American Gases Committee의 직접적인 책임입니다. 2002년 8월 29일 북미 지역 표준 위원회에서 승인한 현재 버전. 2002년 9월 www.semi.org에서 처음 사용 가능; 2002년 11월 발행 예정. 원래 1986년 발행. 이전에 1994년에 출판되었습니다.

이 문서의 목적은 반도체 산업에서 사용되는 디클로로실란(SiH2Cl2)에 대한 사양을 제공하는 것입니다. 이 문서는 반도체 산업에서 사용되는 디클로로실란(SiH2Cl2)에 대한 요구 사항을 다룹니다. 분석 방법이 완전하지 않은 경우 요구 사항을 지침으로 제시합니다. 이 표준은 사용과 관련된 안전 문제(있는 경우)를 다루지 않습니다. 적절한 안전 및 건강 관행을 확립하고 사용 전에 규제 제한의 적용 가능성을 결정하는 것은 이러한 표준 사용자의 책임입니다. 디클로로실란은 가연성, 부식성, 무색 액체로 습기가 있으면 가수분해됩니다. 쉽고 빠르게 산화되어 염화수소를 방출합니다. 공기가 있으면 쉽게 발화됩니다.

참조된 SEMI 표준

SEMI C1 — 시약 사양
SEMI C3 — 가스 사양

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