SEMI C3.30 - 수소(H2)용 표준, 벌크, 99.9997% 품질 -

Abstract

알림: 이 문서는 2005년에 SEMI C58로 대체되었습니다.

이 표준은 수소(H2), 벌크, 99.9997% 품질에 대한 정의, 일반 절차, 사양 및 분석 절차를 수립하기 위한 것입니다. 제공된 것과 다른 분석 절차가 공급자 또는 사용자에 의해 대체되는 경우 동등성을 확인하기 위한 입증 책임은 해당 공급자 또는 사용자에게 있습니다. 특정 분석 방법을 결정할 때 다음 기준 목록이 고려되었다는 점에 유의해야 합니다. 신뢰성; 사용의 용이성; 유지; 정도; 정확성; 감광도; 다재; 및 장비 가용성. 이 표준은 반도체 및 고급 전자 장치 및 회로의 제조 및 처리에 사용되는 가스용으로 사용되는 일반 사양인 SEMI C3에 속합니다.

참조된 SEMI 표준

없음.

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