SEMI C3.29 - 질소(N2) 표준, 벌크 기체, 99.9995% 품질 -

Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩236,000

Volume(s): Gases
Language: English
Type: Single Standards Download (.pdf)
SEMI Standards Copyright Policy/License Agreements

개정: SEMI C3.29-0200(철회 0303) - 교체됨

개정

Abstract

이 표준은 Gases Global Technical Committee에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 개정판은 1999년 4월 15일 글로벌 감사 및 검토 소위원회에서 출판 승인을 받았습니다. 1999년 9월 www.semi.org에서 구할 수 있습니다. 원래 1986년에 출판되었습니다. 이전에 1996년에 출판되었습니다.

알림: 이 문서는 2003년에 투표를 거쳐 철회 승인을 받았습니다. SEMI C59로 대체되었습니다.

질소는 지구 대기의 약 78%를 차지하는 무취, 무미의 이원자 기체입니다. 무색 액체; 화학적으로 비반응성. 불연성; 질식성 가스; 극저온. 분별 증류에 의해 액체 공기에서 추출됩니다.

참조된 SEMI 표준

없음.

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