SEMI C3.27 - 실린더의 삼불화붕소(BF3) 사양, 99.0% 품질 -

Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩236,000

Volume(s): Gases
Language: English
Type: Single Standards Download (.pdf)
SEMI Standards Copyright Policy/License Agreements

개정: SEMI C3.27-1102(0118 재승인) - 현재

개정

Abstract

이 표준은 Gases Global Technical Committee에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 에디션은 2017년 5월 16일 글로벌 감사 및 검토 소위원회에서 출판 승인을 받았습니다. 원래 1984년에 출판되었습니다. 이전에 2011년 10월에 게시되었습니다.

이 문서의 목적은 반도체 산업에서 사용되는 삼불화붕소(BF 3 )에 대한 사양을 제공하는 것입니다.

이 문서는 반도체 산업에서 사용되는 삼불화붕소(BF 3 )에 대한 요구 사항을 다룹니다.

분석 방법이 완전하지 않은 경우 요구 사항을 지침으로 제시합니다.

참조된 SEMI 표준

SEMI C1 — 액체 화학물질 분석 가이드
SEMI C3 — 가스 사양

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