SEMI C3.26 - 실린더의 육불화텅스텐(WF6) 사양, 99.8% 품질 -

Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩246,000

Volume(s): Gases
Language: English
Type: Single Standards Download (.pdf)
SEMI Standards Copyright Policy/License Agreements

개정: SEMI C3.26-0301(철회 0312) - 교체됨

개정

Abstract


알림: 이 문서는 2011년 투표를 거쳐 철회 승인을 받았습니다. SEMI C70으로 대체되었습니다.


육불화텅스텐은 무색의 기체 또는 무색 액체. 자체 증기압 하에서 액화 가스로 배송됩니다.

참조 SEMI 표준 (별도 구매)

없음.

개정 내역

SEMI C3.26-0301(0312 철회, SEMI C70으로 대체)

SEMI C3.26-0301(기술 개정)

SEMI C3.26-94(기술 개정)

SEMI C3.26-93(기술 개정)

SEMI C3.26-89(기술 개정)

SEMI C3.26-84(최초 발행)

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