SEMI C3.24 - 실린더의 육불화황(SF6) 사양, 99.97% 품질 -

Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩247,000

Volume(s): Gases
Language: English
Type: Single Standards Download (.pdf)
SEMI Standards Copyright Policy/License Agreements

개정: SEMI C3.24-0414(0319 재승인)E - 현재

개정

Abstract

이 문서의 목적은 반도체 산업에서 사용되는 육불화황(SF 6 )에 대한 사양을 제공하는 것입니다.

　

이 문서는 반도체 산업에서 사용되는 육불화황에 대한 요구 사항을 다룹니다.

　

참조된 SEMI 표준

SEMI C3 — 가스 사양

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