SEMI C3.19 - 수소 표준(H2), 99.9995% 품질 -

Abstract

알림: 이 문서는 2005년에 SEMI C58로 대체되었습니다.

반도체 제조에서 가스의 불순물 함량의 중요성을 인식한 공급업체는 특히 미량 불순물에 대한 분석 특성이 개선된 제품을 출시함으로써 대응했습니다. 모든 요구 사항을 충족하는 제품은 "SEMI 사양 충족"으로 설명될 수 있습니다. 제공된 것과 다른 분석 절차가 공급자 또는 사용자에 의해 대체되는 경우 동등성을 확인하기 위한 입증 책임은 해당 공급자 또는 사용자에게 있습니다. 특정 분석 방법을 결정할 때 다음 기준 목록이 고려되었다는 점에 유의해야 합니다. 신뢰성; 사용의 용이성; 유지; 정도; 정확성; 감광도; 다재; 및 장비 가용성. 이 사양은 반도체와 고급 전자 장치 및 회로의 제조 및 처리에 사용되는 99.9995% 품질의 수소(H2)에만 적용됩니다. 사양을 준수하는 가스는 일반적으로 최소 허용 한계보다 더 많은 주요 구성 요소를 포함하거나 SEMI C3 최대 허용 한계보다 적은 불순물(또는 여러 불순물)을 포함합니다. 어떤 경우에도 가스가 사양에 정의된 것보다 더 높은 품질로 간주되어서는 안 됩니다. 이러한 사양 및 관련 절차의 의도는 한편으로는 가스가 반도체 장치의 제조 및 처리에 사용될 수 있는 일반적인 용도에 적합하고 다른 한편으로는 일관성을 유지하도록 보장하는 것입니다. 해당 가스에 대한 최신 제조 공정을 사용합니다.

참조된 SEMI 표준

없음.

Refund Policy: Due to the nature of our products, SEMI has a no refund/no exchange policy. Please make sure that you have reviewed your order prior to finalizing your purchase. All sales are final.