
SEMI C3.18 - 실린더의 디클로로실란(SiH2Cl2) 사양, 97% 품질 -
Abstract
알림: 이 문서는 2005년에 SEMI C56으로 대체되었습니다.
이 문서의 목적은 반도체 산업에서 사용되는 디클로로실란(SiH2Cl2)에 대한 사양을 제공하는 것입니다. 이 문서는 반도체 산업에서 사용되는 디클로로실란(SiH2Cl2)에 대한 요구 사항을 다룹니다. 분석 방법이 완전하지 않은 경우 요구 사항을 지침으로 제시합니다.
참조된 SEMI 표준 없음.
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C00318 - SEMI C3.18 - 실린더의 디클로로실란(SiH2Cl2) 사양, 97% 품질
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