SEMI C3.12 - 실린더 내 암모니아(NH3) 사양, 99.998% 품질 -

개정: SEMI C3.12-0116(0922 재승인) - 현재

개정

Abstract


이 표준의 목적은 반도체 산업에서 사용되는 암모니아(NH3)에 대한 사양을 제공하는 것입니다.

이 표준은 반도체 산업에서 사용되는 암모니아에 대한 요구 사항을 다룹니다.

참조 SEMI 표준 (별도 구매)
SEMI C3 — 가스 사양

개정 내역
SEMI C3.12-0116(재승인 0922)
SEMI C3.12-0116(기술 개정)
SEMI C3.12-1109(기술 개정)
SEMI C3.12-1102(기술 개정)
SEMI C3.12-94(기술 개정)
SEMI C3.12-89(기술 개정)
SEMI C3.12-86(기술 개정)
SEMI C3.12-83(최초 발행)

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