SEMI C3.6 - 실린더의 포스핀(PH3) 사양, 99.98% 품질 -

Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩240,000

Volume(s): Gases
Language: English
Type: Single Standards Download (.pdf)
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개정: SEMI C3.6-0421 - 현재

개정

Abstract

이 문서의 목적은 반도체 산업에서 사용되는 포스핀(PH3)에 대한 사양을 제공하는 것입니다.


이 문서는 반도체 산업에서 사용되는 포스핀에 대한 요구 사항을 다룹니다.

참조 SEMI 표준 (별도 구매)

SEMI C3 — 가스 사양

개정 내역

SEMI C3.6-0421(기술 개정)

SEMI C3.6-0710(재승인 0815)

SEMI C3.6-0710(기술 개정)

SEMI C3.6-0701(기술 개정)

SEMI C3.6-95(기술 개정판)

SEMI C3.6-93(기술 개정판)

SEMI C3.6-81(최초 발행)

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