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SEMI C2 - 식각액 사양 -
Abstract
이 표준은 글로벌 액체 화학 물질 위원회에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 에디션은 2007년 12월 20일에 글로벌 감사 및 리뷰 소위원회의 출판 승인을 받았습니다. 2008년 2월에 www.semi.org에서 볼 수 있었습니다. 원래는 1995년에 출판되었습니다.
알림: 이 문서는 2008년에 투표를 거쳐 철회 승인을 받았습니다.
화학 시약에 관한 SEMI 위원회는 1979년에 부식제에 대한 노력을 시작했습니다. 이 간행물을 통해 위원회는 부식제 혼합물의 세 가지 주요 유형에 대한 정의를 수립했습니다. 혼합산 에칭제, 버퍼 산화물 에칭제 및 인산 에칭제. 사양 및 분석 절차는 각 유형에 대해 소개됩니다.
모든 요구 사항 내의 식각액은 "SEMI 사양 충족"으로 설명할 수 있습니다.
제공된 것과 다른 분석 절차가 공급자 또는 사용자에 의해 대체되는 경우 동등성을 확인하기 위한 입증 책임은 해당 공급자 또는 사용자에게 있습니다.
참조된 SEMI 표준 없음.
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C00200 - SEMI C2 - 식각액 사양
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