SEMI C1 - 액체 화학물질 분석 가이드 -

Abstract

액체 화학 물질은 반도체 장치 생산 중에 광범위하게 사용됩니다. 그들의 순도는 제조 공정 동안 장치 수율에 영향을 미치는 것으로 나타났습니다.

다양한 반도체 장치가 생산되고 있기 때문에 액체 화학 물질마다 다른 수준의 순도가 표준 및 지침으로 설정되었습니다.

이 가이드는 특정 액체 화학 사양을 충족하는 데 필요한 표준 검증 절차에 대한 다양한 분석 절차를 설명합니다.

모든 액체 화학 표준은 지침, 사양 및 검증된 분석 절차로 구성됩니다. 적절한 분석 절차는 액체 화학 물질의 각 등급에 대한 민감도가 각 액체 화학 물질 등급의 요구 사항을 충족하도록 각 표준에 정의되어 있습니다.

이 가이드는 액체 화학 인증에 사용되는 각 방법에 대한 개요를 제공합니다. 이 가이드에 설명된 적절한 절차를 사용하여 분석적으로 검증된 액체 화학 물질의 각 등급(1–5)은 'SEMI 사양 충족'으로 설명할 수 있습니다.

분석 절차 — 액체 화학 사양을 설정하는 데 사용되는 절차는 § 7에서 찾을 수 있습니다. 분석 절차는 표 1에 나열되어 있습니다.

안전 — 안전 주의 사항이 지속적으로 발전하고 있기 때문에 이 간행물에서 개별 액체 화학 물질의 안전한 취급과 관련된 명확한 설명을 제공하는 것은 불가능합니다. 사용자는 제품 라벨, 제품 데이터 시트, 정부 규정 및 기타 관련 문헌을 참조합니다.

참조된 SEMI 표준

없음.

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