SEMI AUX005 - SEMI S2-93A와 S2-0200 간의 비교 매트릭스 -

Abstract

2000년 10월 19일 회의에서 북미 EHS(Environmental Health and Safety) 위원회의 2/3 과반수 득표로 이 문서를 표준과 무관한 보조 정보로 발행하는 것이 승인되었습니다. 2000년 10월 27일 이메일 투표에 의한 EHS 조정 소위원회, 2000년 11월 22일 전자 투표에 의한 NA 지역 표준 위원회.

이 문서의 정보는 SEMI ® Standards 및 SEMI S2 Comparison Matrix Task Force에서 정보용으로만 제공되었으며 예고 없이 변경될 수 있습니다. SEMI S2-93A와 SEMI S2-0200 간의 비교 매트릭스는 장비 공급업체, 타사 및 장치 제조업체에게 유용한 도구입니다. S2-93A와 SEMI S2-0200 사이의 변경 사항을 식별하고 일부 변경 사항의 근거에 대한 통찰력을 독자에게 제공합니다. SEMI S2 비교 매트릭스 태스크 포스의 목표는 SEMI S2-93A 및 SEMI S2-0200의 공식 섹션에 대한 전체 비교 매트릭스를 컴파일하여 가능한 경우 다양한 S2 작업 그룹의 의견을 요청하는 것입니다. 이 문서는 배경 정보로만 사용하기 위한 것입니다. SEMI S2의 기준을 변경하는 것은 이 문서의 의도가 아닙니다.

참조된 SEMI 표준

없음.

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