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SEMI A5 - SEMI A2 SMASH(SMASH-FOX)용 공장 운영 확장 사양 -
Abstract
본 규격의 목적은 요구에 따라 Local Hosts에 의해 제어되는 다양한 장비와 함께 다수의 조립라인을 가지는 공장에서 주로 사용되는 factory-level operation을 위한 SEMI A2와 함께 확장된 규격으로 사용되는 통신 인터페이스 규격을 제공하는데 있다.
이 표준의 범위는 SEMI A2의 확장으로 공장 수준의 작업을 지원하는 통신 인터페이스 사양을 정의하는 것입니다. 여기에는 다음이 포함됩니다.
- 시스템 토폴로지 및 통신 경로 설정
- Factory Host와 같은 상위 계층 제어 엔터티의 SEMI A2 메시지를 사용하는 방법
- 공장 수준 관리에 사용할 추가 메시지
참조 SEMI 표준 (별도 구매)
SEMI A1 — PESCI(생산 장비 스마트 연결 인터페이스) 사양
SEMI A1.1 — PESCI(생산 장비 스마트 연결 인터페이스)용 TCP/IP 인터페이스 사양
SEMI A2 — SMASH(Surface Mount Assembler Smart Hookup) 사양
SEMI E10 — 장비 신뢰성, 가용성, 유지보수성(RAM) 및 활용도의 정의 및 측정을 위한 사양
개정 내역
SEMI A5-0722(기술 개정)
SEMI A5-0521(최초 게시됨)
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