SEMI 3D17 - 접합 웨이퍼 스택 보이드 계측을 위한 기준 물질 사양 -

Abstract

계측 시스템 개발 및 보정에는 알려진 보이드 치수의 접착된 웨이퍼 참조 샘플이 필요합니다. 이 사양은 본딩된 웨이퍼 참조 샘플을 생성하는 데 사용되어야 하는 세부 사항을 제공하며 SEMI 라운드 로빈 연구에서 사용된 300mm 참조 샘플을 기반으로 하며 SEMI AUX032-0715, Round Robin Study of Method for Measurement of Voids in 실리콘 웨이퍼의 보세 쌍.

 

이 사양은 두 개의 웨이퍼로 구성된 본딩된 웨이퍼 기준 샘플에 대한 설계, 제조 및 인증 절차를 포함하여 필수 테스트 구조를 설명합니다.

　

참조된 SEMI 표준

SEMI 3D13 - 접합된 웨이퍼 스택의 보이드 측정 가이드
SEMI M20 — 웨이퍼 좌표계 설정 실습

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