SEMI 3D3 - 테이프 프레임의 300mm 얇은 실리콘 웨이퍼용 멀티 웨이퍼 운송 및 보관 용기용 안내서 -

Abstract

이 가이드는 최종 목적지에 손상 없이 도착하는 방식으로 테이프 프레임에 얇은 웨이퍼를 운송하는 방법을 선택하기 위한 요구 사항을 해결하기 위한 것입니다. 테이프 프레임에 얇은 웨이퍼를 운송하는 다양한 방법을 설명합니다.

　

얇은 웨이퍼를 손상 없이 운송하려면 몇 가지 상호 작용 요인으로 인해 적절한 운송 및 보관 용기를 사용해야 합니다. 그 중 가장 중요한 요인은 여기에 나열되어 있습니다.

　

치수에 따른 취약성 증가로 인해 직경이 증가함에 따라 표준 웨이퍼의 두께가 증가했지만, 3차원 적층 IC(3DS-IC)의 공정 흐름은 이러한 추세를 역전시켜 얇은 웨이퍼를 사용하므로 훨씬 더 취약한 웨이퍼를 사용하여 통과 시간을 단축할 수 있습니다. - 웨이퍼 상호 연결 및 스택의 총 부피 감소.

　

특히 이기종 통합을 위한 스태킹 프로세스는 여러 소스의 웨이퍼를 사용해야 하며, 이는 웨이퍼가 한 위치에서 다른 위치로 배송되어야 함을 의미합니다.

　

약 1m 높이에서 떨어진 패키지는 100g 정도의 충격을 받습니다. 이러한 이벤트는 적절하게 보호되지 않은 웨이퍼를 쉽게 깨뜨릴 수 있습니다.

　

이 가이드는 SEMI G74 또는 SEMI G87을 준수하는 테이프 프레임에 다이싱 테이프에 장착된 얇은 웨이퍼를 배송하는 데 필요한 컨테이너에 대한 정보를 사용자에게 제공합니다.

　

이 가이드는 공칭 직경 300mm의 실리콘 웨이퍼 배송에 대해 다룹니다. 300mm(공칭) 실리콘 웨이퍼의 실제 직경은 에지 트림을 통한 재료 제거로 인해 300mm 미만일 수 있습니다. 캐리어 웨이퍼로 사용하기 위해 특별히 제작된 300mm 실리콘 웨이퍼의 직경은 300mm보다 클 수 있습니다.

　

공칭 300mm 웨이퍼의 최대 직경은 301mm입니다.

　

공칭 300mm 웨이퍼에 대한 고정된 최소 직경은 없습니다. 가장자리 트림 및 기타 프로세스는 아직 표준화되지 않았습니다. 따라서 공칭 300mm 웨이퍼의 실제 직경은 밀리미터 더 작을 수 있습니다.

　

이 안내서는 실리콘 이외의 재료에 유용할 수 있지만 이 문서의 범위를 벗어납니다.

　

참조된 SEMI 표준

SEMI G74 — 300mm 웨이퍼용 테이프 프레임 사양
SEMI G87 — 300mm 웨이퍼용 플라스틱 테이프 프레임 사양
SEMI G94 — 300mm 웨이퍼용 코인 스택형 테이프 프레임 운송 컨테이너 사양
SEMI M31 — 300mm 웨이퍼 운송 및 배송에 사용되는 전면 개방 배송 상자의 기계적 사양

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