SEMI T18 - 部品およびコンポーネントの仕様のトレーサビリティ -

Abstract

この規格は、トレーサビリティ グローバル技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2018 年 2 月 1 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2018 年 7 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になります。初版発行は 2006 年 11 月。以前は 2012 年 8 月に出版されました。

この文書の目的は、寿命や校正、洗浄、交換などのメンテナンス前の残り時間をより正確に見積もるためのデータを収集および管理する標準的な手段を提供することです。

この規格の最終目標は、治具や一部の消耗品を含む製造装置の部品やコンポーネントを追跡することで、半導体、フラット パネル ディスプレイ (FPD)、または MEMS デバイスのトレーサビリティを実現することです。

この文書は、SEMI T12 (トレーシング治具および器具の仕様) に基づいて拡張された、機器およびその監視システムの基本的な機能とメッセージング機能を規定します。

この文書では、部品やコンポーネントの寿命を推定または予測するための方法論やアルゴリズムは指定されていません。ここでのコンポーネントには、ターゲット材料を備えたスパッタリング ガンや、バスや容器内で繰り返し使用される化学薬品などの消耗品が含まれます。

SEMI E5 — SEMI 機器通信規格 2 メッセージ内容の仕様 (SECS-II)
SEMI E30 — 製造装置の通信および制御のための汎用モデル (GEM) の仕様
SEMI E98 — オブジェクトベース機器モデル (OBEM) の暫定規格
SEMI T12 — トレース治具および器具の仕様

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