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SEMI T16 - 極紫外線マスク自動識別用データマトリクス記号法適用の仕様 -
Volume(s):
Traceability
Language:
Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
注意: この翻訳は参考コピーのみです。英語版と他の言語の翻訳との間に差異がある場合、英語版が正式かつ正式なバージョンとなります。
免責事項： このSEMIスタンダードは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。ある場合には英語版記載内容が優先されます。
本基準は、global Traceability Committee で技術的に承認されている。現版は2006年5月16日、global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認された。 初版は2005年11月に発行された。
本仕様では、ハードコート極紫外線（ EUV ）マスクにマークする記号法について記載する。
本仕様では，SEMI P37およびSEMI P38の仕様に適合あるいは援用される，レジストコート6インチ極紫外線マスクのパターン面にマーキングする機械可読な正方形二次元データマトリクスコードの幾何学的，空間的関係および（エラーチェック・訂正コードの）内容について定義する。
本仕様は，データマトリクスフィールドの特性および位置のみに対応するものである。 このデータマトリクスフィールドには，従来，6インチ光学レティクルの各種バーコード記号に含まれていた情報を含めることができる。このような情報のフォーマットは，本仕様では詳しく説明しません。
参照されるSEMI規格SEMI P37 — 極端紫外線リソグラフィーマスク基板の仕様
SEMI P38 — 極端紫外線リソグラフィーマスクブランク上の吸収膜スタックおよび多層の仕様
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