SEMI T15 - 治具 ID の仕様: コンセプト -

Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900

Volume(s): Traceability
Language: English



Type: Single Standards Download (.pdf)

リビジョン: SEMI T15-0818 (Reapproved 0324) - Current

リビジョン

Abstract

この規格は、トレーサビリティ グローバル技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2018 年 2 月 1 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2018 年 8 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になります。初版は 2005 年 7 月に出版されました。以前は 2012 年 8 月に出版されました。

この規格の目的は、半導体デバイスを加工する治具に装着される個々の治具を一意に識別するための汎用治具IDを確立することです。

この規格では、半導体製造工程で使用される治具に取り付けるIDの以下の内容を規定しています。

• IDの種類

・データフォーマット

参照されるSEMI規格

SEMI T12 — トレース治具および器具の仕様

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