SEMI T13 - デバイス追跡の仕様: 概念、動作、およびサービス -

Abstract

この規格は、世界的なトレーサビリティ委員会によって技術的に承認されました。この版は、2010 年 4 月 30 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって出版が承認されました。最初は 2010 年 6 月に www.semi.org で入手可能になりました。初版は 2004 年 6 月に出版されました。以前は 2004 年 11 月に出版されました。

この仕様の目的は、品質管理、保証、セキュリティ、またはその他の理由でデバイスを追跡することです。この仕様により、ダイスやパッケージデバイスなどの半導体製品におけるトレース実現に必要な情報の伝達が容易になります。現代の消費者マインド、業界、政府の市場傾向により、半導体デバイスを含むすべての製品に対してトレーサビリティが明示的または暗黙的に要求されているためです。この仕様を実装することは、半導体デバイスの直接および間接の両方の消費者を満足させるのに役立ちます。この文書のもう 1 つの目的は、他の標準文書では取り上げられていない、基板上のデバイスの物理的位置を指定するための座標を定義する手段を明確にすることです。この情報は付録セクションに記載されています。

下位基準:

SEMI T13.1-1104 (再承認 0710) - デバイス追跡用の SECS プロトコルの仕様

SEMI T13.2-1104 (再承認 0710) - デバイス追跡用の XML プロトコルの仕様

SEMI E5 — SEMI 機器通信規格 2 メッセージ内容 (SECS-II)
SEMI E39 — オブジェクト サービス標準: 概念、動作、およびサービス
SEMI E130 — 300 mm 環境用プローバ特定機器モデルの仕様 (PSEM300)
SEMI G81 — 地図データ項目の仕様
SEMI G84 — ストリップマッププロトコルの仕様
SEMI G85 — 地図データ形式の仕様
SEMI M17 — ユニバーサルウェーハグリッドのガイド
SEMI M20 — ウェーハ座標系確立の実践
SEMI M21 — デカルト配列内の長方形要素にアドレスを割り当てるためのガイド

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