SEMI T12 - トレース治具および器具の仕様 -

Abstract

この規格は世界的なトレーサビリティ委員会によって技術的に承認されており、日本のトレーサビリティ委員会が直接責任を負っています。最新版は、2004 年 11 月 24 日に日本の地域標準委員会によって承認されました。最初は 2005 年 1 月に www.semi.org で入手可能でした。初版発行は 2004 年 3 月でした。以前は 2004 年 7 月に出版されました。

注意: SEMI T12の指定は、SEMI T12.1の再承認を反映するために、0710発行サイクル中に更新されました。

半導体製造装置では、半導体デバイスを製造するために治具や治具を使用する場合があります。製品の品質や工具の性能など重要な条件が治具やインプルメントに依存する場合があります。この違いは、加工サイクル、加工製品、在庫環境などの歴史的な出来事から生じることがよくあります。条件とイベントの相関関係を確認するには、治具と作業具を追跡する必要があります。

この文書の目的は、材料を加工するための装置に使用される治具や器具を追跡するためのコンセプトを確立し、そのコンセプトを実現するために必要な情報、通信、およびサービスを確認することです。

この仕様の範囲には、機器に必要な情報の管理も含まれます。特定の治具が他の機器 (通常は同じタイプおよび/または同じサプライヤー) で使用される可能性があるため、機器と工場のホスト コンピューター間の情報転送もこの仕様の範囲に含まれます。

この仕様ではトレース情報、その通信、および論理管理のみを扱うため、マーク位置やマークリーダーなどの物理的な問題は対象外です。物理仕様は別途標準化される場合があります。

この仕様以上の要件に基づく管理が期待される装置であれば、プロセスの種類や装置の種類に関係なく、その装置は対象となります。

ただし、特定のタイプの装置用の治具および/または作業具が、既存の規格に従って、または従来から何らかの仕様に従ってすでにトレースまたは管理されている場合、それらはこの仕様の範囲外です。ただし、この仕様は、ユーザーおよび/またはサプライヤーが希望する場合、そのような治具やツールにも適用できます。

本仕様書はトレーサビリティを実現するための基本的な機能のみを記載しているため、偽造品のチェックや管理などの機能の応用は対象外となります。

下位基準:

SEMI T12.1-0704 (再承認 0710) — 治具および器具を追跡するための SECS プロトコルの仕様

SEMI T12.2-1105 — 治具および器具を追跡するための XML プロトコルの仕様

SEMI E5 — SEMI 機器通信規格 2 メッセージ内容 (SECS-II)
SEMI E30 — 製造装置の通信および制御のための汎用モデル (GEM)
SEMI E39 — オブジェクト サービス標準: 概念、動作、およびサービス

Interested in purchasing additional SEMI Standards? Consider SEMIViews, an online portal with access to over 1000 Standards.

Refund Policy: Due to the nature of our products, SEMI has a no refund/no exchange policy. Please make sure that you have reviewed your order prior to finalizing your purchase. All sales are final.