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SEMI T11 - 硬質表面レチクル基板のマーキング仕様 -
Volume(s):
Traceability
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この仕様は、ハードマークを付けるための記号を提供します。 基板のエッジ除外領域内の表面レチクル基板。
この仕様は、幾何学的および空間的なものを定義します。 の関係と内容 (エラー チェックと修正コードを含む) 正方形の 2 次元、機械可読なデータ マトリックス シンボル 準拠したレジストコーティングされた 6 インチ レチクル基板のパターン表面マーキング SEMI P1の仕様です。
この仕様は、データ マトリックス フィールドの特性のみを扱います。 そして場所。このデータ マトリックス フィールドには、以前の情報が含まれている可能性があります。 6 インチ レチクル上のさまざまなバーコード シンボルに含まれています。そのような形式 この仕様では情報の詳細は説明されていません。
参照SEMI規格（別途購入）
SEMI P1 — 硬質表面フォトマスクの仕様 基板
改訂履歴
SEMI T11-0703 (再承認 0921)
SEMI T11-0703 (再承認 1014)
SEMI T11-0703 (再承認 0709)
SEMI T11-0703 (技術改訂)
SEMI T11-1102 (初公開)
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