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SEMI S29 - 불소계 온실가스(F-GHG) 배출 특성 표시 및 저감을 위한 가이드 -
Volume(s):
Safety Guidelines
Language:
Korean
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
본 표준은 글로벌 환경 、 보건 및 안전 기술 위원회 (環境・健康・安全委員会) 의 기술 승인을 받았다 。 본 버전은 글로벌 감사 및 평가 소위원회 (監査・レビュー小委員会) 가 2012 년 6 월 18 일에 간행을 승인했으며 20 12 月 7 日 www.semiviews.org と www.semi.org が登録されています。
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주의 :
본 한글본은 참고용으로, 영문원본과 한글본간에 차이가 발생할 경우, 영문원본을 우선으로 해야합니다。 krstandards@semi.org までお問い合わせください。 로 문의바랍니다。
본 문서는 제조 장비 (ME) 에서 배출되는 불소계 온실가스 (F-GHG) 의 특성을 표시하기 위한 가이드 를 제공한다。
본 문서는 저감 설비 (削減ツール) と F-GHG 처리 효율 (DRE) の機能が使用されます。
또한 본 문서에서는 ME 또는 저감 설비 (軽減ツール) 에서 배출량 저감을 위한 지속적인 개선 계획에 대해서도 다룬다。
これは、(GHG ) 、CF 4 、C 2 F 6 、C 3 F 8 、cC 4 F 8 、CHF 3 、SF 6とNF 3です。
私はF-GHG を使用しています。
본 가이드는 저감 설비 (削減ツール)はF-GHG 배출 특성 표시에도 적용된다 です。
본 가이드는 ME 에서 발생하는 화학 반응을 통한 F-GHG 의 소비량 、 잔류물 、 부산물 또는 재결합에 대한 특성 표시에 적용된다 。
F-GHG DRE は、削減ツール (削減ツール) を備えています。
TFT-LCD、 TFT-LCD などの機能が搭載されています。
포함된 섹션은 다음과 같다 。
- 목적
- 범위
- 제한 사항
- 참조 표준 및 문서
- 용어
- 조항
- 기준 레시피
- 측정 기구
- F-GHG 배출의 측정 및 특성 표시
- F-GHG 배출 특성 표시의 시기 및 빈도
- 보고
- 특성이 표시된 데이터 기록 보존
- 로드맵 및 지속적인 개선
SEMI S2 — 半導体製造装置の環境、健康、安全に関するガイドライン
SEMI S23 — 半導体製造装置で使用されるエネルギー、ユーティリティ、材料の節約に関するガイド
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