SEMI S29 - 針對含氟溫室氣體(F-GHG)排放特性描写與減量之指導書 -

Abstract

本標準由全球環境、衛生及び安全技術委員会(Environmental Health & Safety Technical Committee)技術核可、本版於2012年6月18日由全球審核與覆檢小組委員會核可、2012年7月月間可以於www .semiviews.org及びwww.semi.org取得。

この文書は、製造設備(ME) によって排出される含気空間氣体 (F-GHG) を評価するための指示を提供します。

本書は、ビット氣処理設備の F-GHG 破壊または除去効率 (DRE) を評価するための指示を提供します。

本文では、製造設備または排ガス処理設備の排出量維持改善計図も提案しています。

適用於本指引的溫室氣體(GHG)為CF ₄ ，C ₂ F ₆ ，C ₃ F ₈ ，cC ₄ F ₈ ，CHF ₃ ，SF ₆與NF ₃ 。

これは、使用中の製造設備のF-GHG 排出評価を指します。

この指示は於尾氣處処理設備のF-GHG 排出評価を指します。

本指示用使用於製造設備化学反後、 F-GHG の消費、残留物、副電品または重組の評価。

本指引適用時尾氣處処理設備對F-GHGの去除効率(DRE)規格。

建議少なくとも半導体、 TFT-LCD、太陽光電業は本指引を使用します。

この指引に含まれる次の段落：

• 目的
• 範疇
• 制限條件
• 參考標準與文件
• 專門用語
• 通用條
• 基礎配方
• 量測儀器
• F-GHG排出量測定與評
• F-GHG排放評価估的時機與頻度
• 報告
• 評価資料の保存紀錄
• 里程圖與持續改善

SEMI S2 — 半導体製造装置の環境、健康、安全に関するガイドライン
SEMI S23 — 半導体製造装置で使用されるエネルギー、ユーティリティ、材料の節約に関するガイド

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