SEMI S25 - 過酸化水素の保管および取り扱いのための安全ガイドライン -

Abstract

本基準は、global Environmental Health & Safety Technical Committee で技術的に承認されている。現版は2012年12月20日、global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。 semiviews.orgおよびwww.semi.orgで入手可能となる。初版は2006年6月発行。

注意： 「注」の表題が付いた段落は、本書の公式的な一部ではなく、また本書のガイドラインの内容の変更や書き換えを意図したものではありません。

本安全ガイドラインは、半導体業界とフラットパネルディスプレー（ FPD ）業界において過酸化水素の貯蔵および取り扱いのための装置やシステムに適用する最低限の安全衛生基準を示すものである。

本安全ガイドラインは、半導体業界とFPD業界で一般に用いられる過酸化水素（ H ₂ O ₂ ）の濃度（つまり40% w/w未満の濃度）を対象とする。

本安全ガイドラインでは、主として半導体およびフラットパネルディスプレー関連施設内における過酸化水素の保管、取り扱い、輸送、分配を取り扱っています。

本安全ガイドラインは，以下の内容が記載されている：

• 目的（ §1 ）
• 範囲（ §2 ）
• 制限（ §3 ）
• 参照基準および文書（ §4 ）
• 用語（ §5 ）
• 安全に対する考え方（ §6 ）
• 一般原則（ §7 ）
• 教育およびトレーニング（ §8 ）
• 緊急時対応（ §9 ）
• 材料、コンポーネント、構造（ §10 ）
• 保管（ §11 ）
• 運用（ §12 ）
• 分配システムとモジュール/補助装置（ §13 ）

SEMI S2 — 半導体製造装置の環境、健康、安全に関するガイドライン
SEMI S10 — リスク評価およびリスク評価プロセスの安全ガイドライン

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