SEMI S22 - 半導體製造設備電氣設計安全基準 -

Abstract

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注意：本安全基準中より「註」為標題の段落並非正式安全基準、不得為此修正または取代正式的安全基準。委員会提供註解內容係為方便本安全基準的使用。

注意：本基準提示に関する「承諾」字の許容規定開始符合本文の標準。 「註」および「相關資料」の規定。

本基準係は針對半導体電気業で使用する生電力設備を提供するために為設計主の総合電氣安全考慮量を提供しています。

基本的な製品の安全性を考慮するには、本明細書規定の設計、構築設計、またはその他の使用可能な電気安全標準要件に準拠する必要があります。

範圍

本安全基準適用時に半導体製造設備。

本安全基準所含之考慮量使用可能於設計預防氣電及非電氣危険險的電氣安全チェーン，及び預防電氣危険險的非電氣氣チェーン。

第3 節「制限」で除外される設備を除き、本書の電氣設計考慮量適用の全ての使用予定製造、測定、組裝及び測定試用半導体電気品の設備。

本安全基準が適用される場合には危険性電力器または危険性電力発行動的設備。

参照されるSEMI規格

SEMI E33 — 半導体製造装置の電磁両立性 (EMC) に関するガイド
SEMI S1 — 機器の安全ラベルの安全ガイドライン
SEMI S2 — 半導体製造装置の環境、健康、安全に関するガイドライン
SEMI S3 — プロセス液体加熱システムの安全ガイドライン
SEMI S8 — 半導体製造装置の人間工学工学に関する安全ガイドライン
SEMI S10 — リスク評価およびリスク評価プロセスの安全ガイドライン
SEMI S13 — 製造装置で使用するために装置ユーザーに提供される文書に関する環境、健康、安全に関するガイドライン
SEMI S14 — 半導体製造装置の火災リスク評価と軽減に関する安全ガイドライン

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